低溫恒溫槽故障1.凍水泵流量不足：
主要引起流量不足的原因是a.葉輪或水管堵塞b.葉輪損壞主要用以下兩種該方法解決a.清洗葉輪或水泵b.更換葉輪
故障2.回氣管及壓縮機(jī)機(jī)殼結(jié)霜：
低溫恒溫槽回氣管及壓縮機(jī)機(jī)殼結(jié)霜主要是由于三個(gè)原因引起的a.膨脹閥開啟度過大，b.冷媒過多c.熱負(fù)荷過小解決辦法有：a調(diào)整膨脹閥b排放部份冷媒c增大熱負(fù)荷或打開凍水回路旁通閥；
故障3.凍水泵泵不出水：
低溫恒溫槽凍水泵不出水主要是由于a.水泵轉(zhuǎn)向反向b.葉輪堵塞主要解決的辦法有a.糾正水泵電機(jī)轉(zhuǎn)向b.清洗水泵葉輪；
故障4.低溫恒溫槽運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)低壓過低：
出現(xiàn)低壓過低是主要是由以下幾個(gè)原因引起，a.冷媒不足只需要補(bǔ)漏，補(bǔ)充冷媒或調(diào)整膨脹閥，b.過濾器堵塞這時(shí)需要清洗或更換過濾器c.膨脹閥開啟度過小，適當(dāng)調(diào)整膨脹閥開啟度 d.低溫恒溫槽毛細(xì)管堵塞只要清洗或更換毛細(xì)管；
故障5.低溫恒溫槽啟動(dòng)不了或啟動(dòng)后立即停機(jī)：
該故障通常是由于a電源斷電或電壓過低，只要排除電路故障按低溫恒溫槽要求供電即可；b溫控器調(diào)設(shè)不當(dāng)，使觸頭常開，只需重新調(diào)整溫控設(shè)定值；c冷卻水未開，聯(lián)鎖電路斷開，這時(shí)只需要打開冷卻時(shí)系統(tǒng)，接通連鎖電路即可d保護(hù)器件作用后未復(fù)位，按一次停機(jī)按鈕后再開機(jī)
故障6.低溫恒溫槽運(yùn)轉(zhuǎn)中高壓過高：
運(yùn)轉(zhuǎn)中高壓過高通常是由于a冷卻水流量過少或水溫過高，只要加大冷卻水流量或降低水溫就好了；b冷凝器銅管/翅片積垢多，換熱效果差，這時(shí)需要清洗低溫恒溫槽的換熱器c冷媒過多，冷媒過多時(shí)需要往外排放部分冷媒d膨脹閥開啟度過小，只需要適當(dāng)調(diào)整膨脹閥開啟度；
低溫恒溫槽應(yīng)用范圍：
對(duì)半導(dǎo)體制造裝置發(fā)熱部的冷卻：單晶片洗凈轉(zhuǎn)載、印刷機(jī)、自動(dòng)夾座安裝裝置、噴涂裝置、離子鍍裝置、蝕刻裝置、單晶片處理裝置、切片機(jī)、包裝機(jī)、顯影劑的溫度管理、露光裝置、生磁部分的加熱裝置等。
對(duì)激光裝置發(fā)熱部分的冷卻：激光加工、熔接機(jī)的發(fā)熱部分、激光標(biāo)志裝置、發(fā)生裝置、二氧化碳激光加工機(jī)等。
其他產(chǎn)業(yè)用機(jī)器發(fā)熱部分的冷卻：等離子熔接、自動(dòng)包裝機(jī)、模具冷卻、洗凈機(jī)械、鍍金槽、精密研磨機(jī)、射出成型機(jī)、樹脂成型機(jī)的成型部分等。
分析檢測(cè)機(jī)器的發(fā)熱部分的冷卻： 電子顯微鏡的光源、ICP發(fā)光分光分析裝置的光源部分、分光光度計(jì)的發(fā)熱部分、X線解析裝置的熱源、自動(dòng)脈沖調(diào)幅器的發(fā)熱部分原子吸光光度計(jì)的光源等。水箱可用 的純凈水在機(jī)內(nèi)外循環(huán)冷卻，可對(duì)水質(zhì)要求較高的精密儀器的正常運(yùn)行，延長精密儀器的使用壽命。